CA20
3D rendgenski sistem za kontrolu za napredno pakovanje, dostupan kao MXI/Lab i potpuno automatizovane AXI/Fab verzije, za lemljene spojeve, mikro-spojeve i TSV-ove.
O CA20
CA20 je Comet Yxlon 3D rendgenski sistem za napredno poluprovodničko pakovanje, od obrade vafera do pakovanih čipova. On snima detalje mikronskih veličina — C4 isbočine, bakarne stubove, mikrozaroljke, TSV-ove i isbočine supstratne trake — bez razaranja u roku od nekoliko minuta, otkrivajući greške kao što su loše vlaženje, "glava u jastuku", pomeranje isbočina i praznine, i omogućavajući korišćenje visine odstojanja za praćenje nagiba ili deformacije čipa.
Dokumentovane su dve verzije: MXI/Lab za istraživanje i razvoj i analizu kvarova, i AXI/Fab, potpuno automatizovano rešenje sa utovarivačem i automatskom klasifikacijom defekata (ADC) koje se integriše u tokove materijala i podataka fabrike. Unutar kabineta, Comet Yxlon navodi uslove čiste sobe uporedive sa ISO klasom 3; otisak Fab verzije zavisi od ventilator-filterske jedinice / klase čiste sobe.
Za poluprovodničke pločice, 2.5D pristup snima 2D slike pod nekoliko uglova kako bi zadržao informacije o dubini sa kraćim vremenima skeniranja. Namenski softver uključuje CoS 3D Clarity akviziciju, Dose Manager (sa Dose Reduction Kit-om), Batch Manager i Wafer Manager, i CoS Insights baziran na Dragonfly-u, CoS Insights X 3D i TSV Insights X 2.5D (X paketi zahtevaju automatski punjač).
Verzije i konfiguracije
CA20 MXI / Lab
Kontrola malih serija i analiza kvarova.
CA20 AXI / Fab
Potpuno automatizovana in-line kontrola sa dodavačem i ADC-om.
- Laboratorijske i fabričke verzijeMXI/Lab za istraživanje i razvoj, AXI/Fab potpuno automatizovan sa utovarivačem i ADC.
- 2D, 2.5D i 3DKoso gledanje ±65°; laminografske trajektorije za visoko uvećanje.
- Spremno za čistu sobuUslovi kabineta uporedivi sa ISO klasom 3 (izjava proizvođača).
- Dose ManagerPrati dozu uzorka i isključuje rendgenske zrake na granici da bi zaštitio fleš/DRAM.
- AI-zasnovana analizaTSV Insights X 2.5D i CoS Insights X 3D sa mašinski čitljivim izlazom (npr. KLARF, json, xml).
Tehnički podaci
- Maks. inspekcijski prostor
- 435 mm
- Dimenzije sistema (Š × D × V)
- 1650 × 1400 × 2050 mm
- Težina sistema
- pribl. 2350 kg
- Maks. težina dela
- 1 kg na ugljeničnoj ploči; 2 kg na držaču dela fiksiranom sa strane stola
- Maks. inspekcijski prostor
- 435 mm
- Dimenzije sistema (Š × D × V)
- 1955 × 3100 × 2200 mm (zavisi od jedinice filtera ventilatora / klase čiste sobe)
- Težina sistema
- pribl. 3650 kg
- Maks. težina dela
- 0.5 kg (akumulirano, uklj. nosač)
- Aktivna površina detektora
- 130 × 130 mm
- Matrica piksela
- 1536 × 1536 px
- Korak piksela
- 85 µm
- Koso gledanje
- ±65° (130°)
- Režimi skeniranja
- 2D, 2.5D, 3D
Podaci iz zvaničnih Comet Yxlon informacija o proizvodu (yxlon.comet.tech). Maksimalne vrednosti zavise od konfiguracije; veličina voksela, detektabilnost detalja i MPE su različite količine. Konačna konfiguracija je potvrđena u EMUS ponudi.
Opcije i paketi
- Automatski punjač / EFEM
- CoS 3D Clarity
- Dose Manager
- Upravljač serijama / Upravljač vaferima
- CoS Insights / CoS Insights X 3D
- TSV Insights X 2.5D (sa automatskim punjačem)
Gde je CA20 se koristi
- Spojevi čipa na podlozi i fan-out lemne veze (C4 ispupčenja, bakarni stubići)
- 2.5D i 3D IC paketi uključujući mikro-izbočine
- TSV inspekcija i metrologija na pločicama
- Lemne izbočine na traci supstrata
- Senzori, MEMS i MOEMS
- Otkrivanje grešaka kao što su „head-in-pillow“, ne-vlaženje, pomeranje kuglice i praznine
Slike proizvoda
Brošure, tehnički listovi i katalozi
CA20 flajer 2024/2025 (Comet Yxlon)
PDF · Brošura
Povezani Comet Yxlon proizvodi
Kako EMUS ovo podržava
Oprema je samo deo odgovora. Svaki sistem koji isporučujemo podržan je regionalnim inženjeringom, servisom i aplikativnom podrškom.
Mehaničko, električno, ekološko podešavanje urađeno ispravno prvi put.
Kvalifikacija i testiranje prihvatanja prema realnim kriterijumima.
Obuka za operatere i primenu, prilagođena vašim delovima.
Sledljivo etaloniranje za spremnost merenja za reviziju.
Preventivni i korektivni servis širom regiona Balkana.
Razvoj metoda i rešavanje problema sa našim inženjerima.
Comet Yxlon
UCA20 je deo Comet Yxlon portfolija, koji predstavlja EMUS za kupce u regionu Balkana.
Zatražite tehničku konsultaciju
Razgovarajte sa EMUS inženjerom oCA20, vaše delove i tolerancije, kao i konfiguraciju koja odgovara vašem toku rada inspekcije.