CA20
3D rendgenski sustav za kontrolu napredne ambalaže, dostupan kao MXI/Lab i potpuno automatizirane AXI/Fab verzije, za lemljene spojeve, mikro spojeve i TSV-ove.
O CA20
CA20 je Comet Yxlonov 3D rendgenski sustav za napredno pakiranje poluvodiča, od obrade pločica do pakiranih čipova. Prikazuje mikronske detalje – C4 ispupčenja, bakrene stupove, mikroispupčenja, TSV-ove i ispupčenja na podlozi – nerazorno u nekoliko minuta, otkrivajući greške poput neočišćenih spojeva, 'head-in-pillow', pomaka ispupčenja i praznina, te omogućuje korištenje visine odvajanja za praćenje nagiba ili deformacije čipa.
Dokumentirane su dvije verzije: MXI/Lab za istraživanje i razvoj te analizu kvarova, i AXI/Fab, potpuno automatizirano rješenje s punjačem i automatiziranom klasifikacijom kvarova (ADC) koje se integrira u protok materijala i podataka u proizvodnji. Unutar kabineta, Comet Yxlon navodi uvjete čiste sobe usporedive s ISO klasom 3; otisak Fab verzije ovisi o jedinici filtra ventilatora / klasi čiste sobe.
Za wafere, 2.5D pristup snima 2D slike pod nekoliko kutova kako bi zadržao informacije o dubini s kraćim vremenima skeniranja. Namjenski softver uključuje CoS 3D Clarity akviziciju, Dose Manager (s kompletom za smanjenje doze), Batch Manager i Wafer Manager, te CoS Insights baziran na Dragonfly-u, CoS Insights X 3D i TSV Insights X 2.5D (X paketi zahtijevaju automatski punjač).
Verzije i konfiguracije
CA20 MXI / Lab
Kontrola malih serija i analiza kvarova.
CA20 AXI / Fab
Potpuno automatizirana inline inspekcija s punjačem i ADC-om.
- Lab i Fab verzijeMXI/Lab za istraživanje i razvoj, AXI/Fab potpuno automatiziran s punjačem i ADC-om.
- 2D, 2.5D i 3DKoso gledanje ±65°; laminografske trajektorije za visoko povećanje.
- Pripremljeno za čistu sobuUvjeti kabineta usporedivi s ISO klasom 3 (izjava proizvođača).
- Dose ManagerPrati dozu uzorka i isključuje rendgenske zrake na granici kako bi zaštitio flash/DRAM.
- Analiza temeljena na umjetnoj inteligencijiTSV Insights X 2.5D i CoS Insights X 3D s izlazom čitljivim stroju (npr. KLARF, json, xml).
Tehnički podaci
- Maks. inspekcijski prostor
- 435 mm
- Dimenzije sustava (Š × D × V)
- 1650 × 1400 × 2050 mm
- Težina sustava
- cca. 2350 kg
- Maks. težina dijela
- 1 kg na ugljičnoj ploči; 2 kg na držaču dijela fiksiranom na bočnoj strani stola
- Maks. inspekcijski prostor
- 435 mm
- Dimenzije sustava (Š × D × V)
- 1955 × 3100 × 2200 mm (ovisi o jedinici ventilatora/filtera / klasi čiste sobe)
- Težina sustava
- cca. 3650 kg
- Maks. težina dijela
- 0.5 kg (accumulated, incl. carrier)
- Aktivno područje detektora
- 130 × 130 mm
- Matrica piksela
- 1536 × 1536 px
- Razmak piksela
- 85 µm
- Koso gledanje
- ±65° (130°)
- Načini skeniranja
- 2D, 2.5D, 3D
Podaci iz službenih Comet Yxlon informacija o proizvodu (yxlon.comet.tech). Maksimalne vrijednosti ovise o konfiguraciji; veličina voksela, detektabilnost detalja i MPE su različite veličine. Konačna konfiguracija se potvrđuje u EMUS ponudi.
Opcije i paketi
- Automatski punjač / EFEM
- CoS 3D Clarity
- Dose Manager
- Upravitelj serija / Upravitelj pločica
- CoS Insights / CoS Insights X 3D
- TSV Insights X 2.5D (s automatskim punjačem)
Gdje se CA20 koristi se
- Chip-on-substrate i fan-out lemne veze (C4 bumps, bakreni stupići)
- 2.5D i 3D IC pakiranja uključujući mikrobumpove
- TSV kontrola i metrologija na pločicama
- Popravak podloge lemljenjem
- Senzori, MEMS i MOEMS
- Detekcija defekata tipa "head-in-pillow", lošeg vlaženja, pomaka grudica i praznina
Slike proizvoda
Brošure, tehnički listovi i katalozi
CA20 brošura 2024/2025 (Comet Yxlon)
PDF · Brošura
Povezani Comet Yxlon proizvodi
Kako EMUS to podržava
Oprema je samo dio odgovora. Svaki sustav koji isporučujemo podržan je regionalnom inženjerskom, servisnom i aplikativnom podrškom.
Mehanička, električna, ekološka postavka odrađena ispravno prvi put.
Kvalifikacijsko i prijemno ispitivanje prema stvarnim kriterijima.
Edukacija operatera i aplikacije prilagođena vašim dijelovima.
Sljedivo umjeravanje za pripremljenost mjerenja za reviziju.
Preventivni i korektivni servis diljem regije Balkana.
Razvoj metoda i rješavanje problema s našim inženjerima.
Comet Yxlon
TheCA20 dio je portfelja Comet Yxlon, predstavljen od strane EMUS-a za kupce u regiji Balkana.
Zatražite tehničke konzultacije
Razgovarajte s EMUS inženjerom oCA20, vaše dijelove i tolerancije te konfiguraciju koja odgovara vašem tijeku rada inspekcije.